3D-IC 中 硅通孔TSV 的设计与制造 judy-- 周五, 10/21/2022 - 14:44 硅通孔是一种主要的互连技术,用于在 2.5D/3D 封装中通过中介层、基板、电源和堆叠的裸片间提供电气连接