MEMS谐振器

通过采用使用了硅材料的WLCSP，使MEMS谐振器与相同材料的半导体IC芯片在安装时具有很高的兼容性，可以内置到IC中。这样的MEMS谐振器有哪些特点和优势呢？村田技术白皮书“超小的MEMS谐振器”给你答案