MEMS加速度传感器

MEMS加速度传感器是一种使用微电机系统（MEMS）技术制造的加速度传感器，用于测量物体的加速度。MEMS技术允许在微型芯片上制造微小的机械部件，包括微型质点和微弹簧，以便测量加速度。