基于MEMS焦平面开关阵列的硅光子激光雷达 judy-- 周四, 03/17/2022 - 09:44 这项研究采用搭载了单片集成128 × 128像素MEMS FPSA(引线键合128 × 96子阵列,并经过了实验测试)的硅光子调频连续波(FMCW)成像激光雷达,最终分辨率达到16384像素。